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SCHNEIDER PC-0984-785
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選用工作時(shí)產(chǎn)生諧波較小的交流變頻調(diào)速器及增加電感或電容濾波器。使用時(shí)發(fā)生交流變頻調(diào)速器找不到電機(jī)的故障，特別是停機(jī)時(shí)間較長問題更突出。分析原因?yàn)榻涣髯冾l調(diào)速器與電機(jī)之間連接電纜過長所致。安裝要求電纜不超過ZOOm，實(shí)際電纜長度超過30m。從而導(dǎo)致交流變頻調(diào)速器發(fā)出的信號(hào)衰減嚴(yán)重，交流變頻調(diào)速器接收不到反饋信號(hào)，造成故障。將探測(cè)信號(hào)設(shè)置值加大，運(yùn)行近Za，該故障未再出現(xiàn)，問題得到解決。
在現(xiàn)場(chǎng)直接停機(jī)或電網(wǎng)波動(dòng)造成停機(jī)時(shí)，交流變頻調(diào)速器發(fā)生直流母線過電壓故障，無法再起動(dòng)。分析其原因?yàn)轱L(fēng)機(jī)屬于大轉(zhuǎn)動(dòng)慣量性質(zhì)的設(shè)備，停機(jī)時(shí)風(fēng)機(jī)中儲(chǔ)存的動(dòng)能通過電機(jī)轉(zhuǎn)換為電能回饋給交流變頻調(diào)速器，當(dāng)停機(jī)過快時(shí)將導(dǎo)致電機(jī)回能量過大，造成交流變頻調(diào)速器直流過電壓。將交流變頻調(diào)速器停機(jī)減加速設(shè)置時(shí)間由原來的3min改為4min，運(yùn)行至今該故障未再出現(xiàn)，問題得到解決。
電網(wǎng)發(fā)生波動(dòng)時(shí)，雖然電機(jī)可自起動(dòng)，但造成工藝停車。其原因?yàn)榻涣髯冾l調(diào)速器停機(jī)信號(hào)是通過運(yùn)行信號(hào)繼電器（KA2）送至工藝連鎖停車，因此當(dāng)交流變頻調(diào)速器停止運(yùn)行時(shí)，停車信號(hào)立即發(fā)出，導(dǎo)致工藝連鎖停車。現(xiàn)將停車信號(hào)由KAZ改為KTI輸出，KTI整定時(shí)間為45，這樣只要在45內(nèi)電機(jī)再起成功，就可以保證工藝不停車。修改后，在去年一年的幾次電網(wǎng)波動(dòng)中，未造成工藝停車，保證了連續(xù)生產(chǎn)降低。
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Femtometric Systems ATPS Light Source Audere Engineer
Leybold 800051V0002
Varian 929-0191
Tuthill Kinney KMBD-400
Lydall Affinity RWE-007T-CD56CBD3
Nordson MARCH C-Series Plasma Treatment System, Vacuum Etcher: Aluminum Chamber
SMC XLAV-40G
Leybold 900-201-G3
Seiko Seiki STP 600 Turbo Pump Controller
ASTECH ATL-100RA Impedance Auto Matching Network
Applied 0200-00554
BOC 0021-07984
Temescal T9412
Kensington 25-3700-1425-05
Pfeiffer/Balzers TCP 300 Turbo Pump Controller
Temescal 6" ASA Vacuum Gate Valve, Aluminum: Rebuilt: Rebuilt
BOC 0200-00554
Telemark ST-4 E-Gun Power Supply, HV, Control, Sweep, Filament & Cables
Commonwealth Plasma Bridge Electron Source Power Supply
Brooks 97111701
Kashiyama V060HB
Sanyo Denki BL Super PU Servo Amplifier
System 03225830000 1
Temescal 4" ASA Vacuum Airco FIG Angle Valve: Rebuilt
KSI S1-1-1000
Advanced Energy PDX 500 RF Power Supply: Rebuilt, 90 Day Warranty
Origin ORG-3
Advanced 3006-000
HiTek Power OL8000/XX10009490 HIVOLT 10640
MKS PPT-C100-HF1Y
Kensington 4000C Robot Controller
MDC GV-4000V-ASAP-SP
Temescal 3CK/12KW
AMAT 0010-09416
AMAT 5000-30331
COGNEX 119-0179
MEP 002-7312-02
SRW-65-2004
Ion Beam Gun (2)
B & B Electronics 485OTLED
Oerlikon Leybold TMP 50 Turbo Vacuum Pump: Rebuilt, 6 Month Warranty
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